自主研发能力
具备完整的化学合成路径研究、系统模拟设计与製程开发能力。
智慧製造能力
整合自动化与人工智慧控制技术，以提升製程效率与稳定性。
整合式研发分析（全链控管）
从前期研发、安全分析、设备製造到产品分析，皆具备完整的自主掌控能力。
产品介绍
Chemicals
Chemicals
Low-k Precursor and MO (TEOS, 4MS, DEMS)High-k Low-k Precursor and MO (TEMAZr, TEMAHf, SbCl3)
Gases
Gases
3MS、SO₂、MMS、用于碳化矽的高纯度碳氢化合物气体、ASML 光刻雷射气体、半导体前驱体、用于湿式制程的酸碱溶液、用于清洗和蚀刻的溶剂、用于电子应用的客制化混合物
Gas / Chemical Delivery System
Gas / Chemical Delivery System
Gas Cabinet, BSGS, CDSVMB, VMPGas purifier
Project EPC
Project EPC
提供一站式 EPC (设计、采购、施工) 服务，确保现场配管与设施完美衔接
Analysis Service for Gases / Chemicals
Analysis Service for Gases / Chemicals